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勒夫邁|灰塵傳感器可監(jiān)測集成電路生產(chǎn)過程中接觸到的污染物

時間:2020-11-04 17:23:24來源: 作者: 點擊:次

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，許多工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)加工對生產(chǎn)環(huán)境的無塵車間工程中含塵濃度提出高的要求，這就需要其生產(chǎn)環(huán)境中具有一定的空氣潔凈等級和控制生產(chǎn)過程所需各類相關(guān)物質(zhì)的供應(yīng)質(zhì)量。例如，在膠片生產(chǎn)中，膠片若受到了塵埃的污染，將會發(fā)生乳劑氧化，活性減弱，pH值變化等，從而影響膠片的感光性能。下面帶大家了解一下灰塵傳感器用于半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)潔凈室中的解決方案。

灰塵傳感器可監(jiān)測集成電路生產(chǎn)過程中接觸到的污染物

集成電路制造業(yè)是一個在超凈化環(huán)境中，使用超純材料進(jìn)行超微細(xì)加工的產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和高精度恒溫恒濕工程生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個突出問題。

集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數(shù)有關(guān)。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對空氣中控制粒子的尺寸有高的要求，而且也需進(jìn)一步控制粒子數(shù)；同時，對于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無塵車間工程的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。

集成電路生產(chǎn)過程中可能接觸到的主要污染物

集成電路生產(chǎn)中可能接觸到的主要污染有：微粒雜質(zhì)、無機離子、有機物質(zhì)、微生物以及氣體雜質(zhì)等。從廣義上說，不適宜的溫度、濕度、照度、超過限度的靜電、電磁噪聲、空氣噪聲以及微振動等，也是特殊的污染物。其中，微粒雜質(zhì)、無機離子、有機物質(zhì)、微生物以及氣體雜質(zhì)的數(shù)量超過一定限度時，就會是集成電路產(chǎn)品發(fā)生表面擦傷、圖形斷線、短路、針孔、剝離等現(xiàn)象，導(dǎo)致電路漏電、電特性異常。輕者影響電路性能和使用壽命，嚴(yán)重時可導(dǎo)致電路報廢。

鑒于這種情況，就需要使用灰塵傳感器來對半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)車間的環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測，保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到潔凈標(biāo)準(zhǔn)。勒夫邁推薦使用LD13C激光灰塵傳感器可以感知煙草產(chǎn)生的煙氣和花粉，房屋粉塵等。

LD13C激光灰塵傳感器

LD13C激光灰塵傳感器特性：

可檢測0.1微米以上的微小粒子；

體積小，重量輕，便于安裝；

5V的輸入電路，便于信號處理；

電控器件壽命≥8年，平均工作無故障時間≥5年；

保養(yǎng)簡單，可以長期保持傳感器的特性。

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而作為衡量空氣質(zhì)量的重要組件，粉塵傳感器是空氣凈化應(yīng)用中的重中之重，粉塵/PM2.5傳感器已經(jīng)成為凈化設(shè)備或凈化系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)安裝元件。越來越多的空氣凈化器使用粉塵傳感器，已經(jīng)達(dá)到了智能控制設(shè)備的目的。粉塵傳感器在采樣后輸出信號值，空氣凈化器的主控制面板根據(jù)接收到的信號調(diào)整凈化檔位。
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